（本章主要講述國產(chǎn)光刻機的曾經(jīng)光輝歷程，以示以往的艱辛和國人智慧?？钟胁恍耪撸加靡粋€章節(jié)以述。不喜者可直接略過）

“國泰兄弟你居然也知道光刻機？這個行業(yè)非常冷門。別說一般人，甚至就連很多官員領(lǐng)導都不知道。”

鄭通元被陳國泰的激烈反應(yīng)嚇了一跳，隨即滿臉驚奇地說道。

“我當然知道。鄭大哥，我的專業(yè)是機械制造，所以我一直都在關(guān)注機械制造的發(fā)展前沿狀況......從1959年漂亮國人研究出世界上第一臺五軸聯(lián)動加工機器開始到現(xiàn)在，機械制造往智能控制發(fā)展的苗頭趨勢已經(jīng)越來越明顯。你說我能不關(guān)注與工控芯片直接相關(guān)的光刻機嗎？”

陳國泰腦瓜子一轉(zhuǎn)，立即解釋道。

“這個倒也是哈。我國從52年研究成功第一臺數(shù)控機床開始，對工控芯片的需求就越來越旺盛，要求的芯片性能也在不斷提升......國防工業(yè)對芯片的需求也與日俱增供不應(yīng)求......”

鄭通元釋然地點了點頭，很自然地講述了起來。

陳國泰立即凝神聽取，不愿錯過任何一個字。

這些知識都是他知識儲備庫里沒有的。

“......1971年之前，因為西方世界對我們的嚴密封鎖，我們所有的工控芯片都是靠著一大群技藝精湛的八級鉗工用手工進行制作。這種制作方式雖然讓我們的芯片制程基本達到當時10微米（一毫米等于一千微米。一微米等于一千納米）級別的世界主流水平，但是也有著非常巨大的缺陷......”

鄭通元滿臉感慨地提到了一個關(guān)鍵時間點：1971年。

聽講的陳國泰更加打起了精神。

“......這個缺陷就是產(chǎn)量極低且良品率極其低下。耗費了巨量人力物力制作出來的極少量合格芯片，只能用在最為急需的導彈、衛(wèi)星、火箭以及極少數(shù)最為重要的加工設(shè)備上面......70年前后，國家為了妥善解決這個問題，終于下定決心集中人力和物力，研究我們自己的光刻機。說起這事，就不得不提到徐瑞林（此為化名。但的確有這么一個英雄人物）徐總工。當時上面緊急調(diào)回已經(jīng)下放下去‘學種水稻’的徐總工，讓他在清大里面緊急組建攻關(guān)團隊......”

提起徐總工這個人，鄭通元臉上不由自主地露出了深深敬仰之色。

“徐瑞林？清大？鄭大哥，你要說的，是不是咱們清大那個精密儀器系于1971年在徐瑞林徐總工的帶領(lǐng)下研制成功了我國第一臺光刻機？”

陳國泰神色一動，忍不住插嘴說道。

“沒錯，的確是這樣。當時徐總工是臨危受命......沒有任何圖紙和設(shè)備，就連概念都是模糊不清，一切都是從頭開始，就連每一個螺絲都要從頭設(shè)計制造......又沒有任何加班費和獎金......但就算是這樣，徐總工帶領(lǐng)的團隊硬是從無到有，只用了一年多時間，就把光刻機最主要的氣體激光器，以及工件臺的精密導軌、絲杠、滾珠、步進電機、數(shù)控計算機，和其它光學系統(tǒng)、大孔徑投影物鏡等等組件全部研制出來并組裝成功......我個人覺得，他們團隊的行為比起從頭開始搞‘和平工程’的那批偉大科學家都不遜色！”

鄭通元講述到這里，禁不住取下眼鏡擦了擦眼角。

“沒錯啊。他們都是國之脊梁！應(yīng)該永遠被我們的國人和所有后代銘記！”

陳國泰對鄭通元提到的人也是肅然起敬，深深嘆服。

“......就這樣，徐總工團隊經(jīng)過一年多時間的舍命付出，終于在1971年成功研制出我國第一臺光刻機和分布重復照相機，并迅速投入規(guī)模生產(chǎn)，供應(yīng)全國半導體行業(yè)使用，為民生工業(yè)和軍事工業(yè)持續(xù)提供‘心臟’動力......就在去年，那位執(zhí)政之后非常重視科技，此項成果終于榮獲全國科技大會獎。徐總工團隊也終于獲得了應(yīng)有的榮譽......這臺光刻機也被稱為我國第一代光刻機。它讓我國的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”

鄭通元徐徐吐出一口氣，總結(jié)說道。

“鄭大哥，既然那臺光刻機被稱為第一代，其實也就意味著有第二代對吧？這方面你能稍微說說嗎？”

聽得心馳神往的陳國泰深吸了一口氣，順勢說道。

“這個......具體的研發(fā)過程肯定不能說。不過表面上的大體情況還是可以透露一些......徐總工取得成功之后，并沒有就此止步不前。從75年開始，他帶領(lǐng)團隊采用直接在半導體晶片上光刻集成電路的方法，投入了對‘自動對準分步投影光刻機’的研究。這項研究被稱為第二代光刻機。預計成功之后會讓我國的芯片制程突破微米級，正式扣響納米級的大門。因為它加工的最細線寬能達到零點八微米，也就是800納米......”